敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、自動(dòng)貼片機(jī)和測(cè)量機(jī)，以及所有需要極高測(cè)量精度的應(yīng)用。高質(zhì)量掃描信號(hào)不容或缺。為此，海德漢推出HSP 1.0全新信號(hào)處理ASIC芯片，歡迎觀(guān)看演示。平行排列兩套測(cè)量基準(zhǔn)。直線(xiàn)光柵尺讀數(shù)頭的滑座在測(cè)量基準(zhǔn)上運(yùn)動(dòng)。LIP 6000只用作準(zhǔn)確的參考基準(zhǔn)。兩個(gè)LIDA 48讀數(shù)頭并排安裝在頂部的光柵尺帶上，檢查測(cè)量值。在比較測(cè)量中，滑座在整個(gè)測(cè)量基準(zhǔn)上運(yùn)動(dòng)。同時(shí)，兩個(gè)LIDA讀數(shù)頭都在頂部光柵尺上遇到典型的污染情況：

·一條短氣泡帶

·一段絲線(xiàn)

·指印

·一滴環(huán)氧樹(shù)脂膠

當(dāng)LIDA讀數(shù)頭移過(guò)光柵尺時(shí)，信號(hào)幅值和位置值與LIP6000參考基準(zhǔn)的記錄值和顯示值不同。只需簡(jiǎn)單比較，也能發(fā)現(xiàn)配HSP 1.0的LIDA讀數(shù)頭的信號(hào)明顯比較光滑。線(xiàn)性誤差補(bǔ)償后，可以直接比較測(cè)量結(jié)果，使用HSP 1.0后，波峰間的信號(hào)幅值幾乎穩(wěn)定在1伏，實(shí)際上減少位置誤差達(dá)一半?？梢哉f(shuō)，海德漢編碼器提供穩(wěn)定的掃描信號(hào)，無(wú)需對(duì)其信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)定處理。盡管如此，測(cè)量基準(zhǔn)或掃描掩膜的污染影響這些掃描信號(hào)。HSP 1.0信號(hào)處理ASIC芯片特別有效地降低污染的影響。確保持續(xù)穩(wěn)定的測(cè)量信號(hào)幾乎不受噪音或細(xì)分誤差的因素?？煽啃?、精度和功能性不受污染影響，依然保持高水平。

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